金屬中心自主開發次微米級精密氣浮運動平台
台灣新聞網記者張美惠/高雄報導
2018.12.17
金屬中心研發技術大躍進,今天成功研發出可進行次微米級定位的精密氣浮運動平台,可用於修補、檢測、切割等諸多專業領域,幫助台灣廠商拓展國際市場,也是台灣產業升級的利器。
金屬中心指出,隨著光電、半導體、生醫、能源、精密光學與精微製造等高科技產業的擴大佈局與發展策略調整,一步步牽動著台灣整體經濟脈動與周邊衛星協力廠商走向,而這些帶動國內經濟發展貢獻的重要產業,其核心製程研發腳步卻因國內無法提供對應的客製化設備,須仰賴國外技術,而導致業者欲進一步提升競爭優勢與發展次世代產品應用時,受限而喪失競爭先機。
金屬中心指出,面對這種嚴苛的精微化製程挑戰,整體產業需投注更大的資源,努力於新材料與新製程技術的開發,在產業的核心製程與檢測設備中,最基礎的設備關鍵模組即為次微米級與奈米級精密氣浮運動平台。
為提供國內產業解決方案,金屬中心於99年起便投入研發DuoFloat氣靜壓軸承技術,經驗證其性能可媲美國際大廠,亦已取得美國、台灣與大陸等地15件專利;同時以DuoFloat氣靜壓軸承為基礎,現已開發可應用於6吋、8吋與12吋晶圓製程的次微米級精密運動平台,目前應用於業界的範疇有:修補、檢測、切割、3DIC、Micro LED…等。
金屬中心表示,團隊自主開發的精密氣浮運動平台,不僅零摩擦力且具有次微米級定位、重複與直線精度,因零磨耗更能確保設備精度與性能皆維持在最佳狀態,使其降低維護成本,期盼藉由金屬中心所提供的國產化/客製精密氣浮運動平台、元件、設備及系統開發服務,解決業者現行的技術瓶頸,透過關鍵製程的高度整合,依靠奈米等級的位移控制的機台與機構設計,能大幅提升製程設備業者的表現。
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