中科擴廠案的環境影響評估，已由科技部中科管理局提送行政院環保署，依法審查通過；台中市政府除鼓勵相對符合環保規定的產業進駐台中，也將加強空氣品質、水質、廢棄物及有毒物質等的法令要求，持續站在最嚴格的監督立場，督促中科落實環保承諾。 針對外界擔憂擴廠後是否增加台中火力發電廠的發電量，中科管理局表示，擴廠所需電力，將由台電公司調配，台中火力發電廠不會新增機組發電，因此汙染不會增加；而市府環保局也將連線密切監控，為市民把關。 台積電也承諾將針對周邊道路實施每年八千一百公里的揚塵改善，屆時每年減少的PM2.5排放量將達四千九百一十七公噸，超過開發後的計畫排放量，因此當地PM2.5排放量反而將降低；台積電另外承諾將確保進駐的半導體廠商，執行每年一千公頃農田稻草收購，或協助政府推廣益菌肥等措施，以減少稻草露天燃燒排放的影響。 此外，依據「台中市發展低碳城市自治條例」第二十二條規定，約定最高用電需求量在一定容量以上者，應於用電場所或台中市適當場所，設置太陽能、風能或其他綠能、節能設備，市府將以此要求台積電投入更多的再生能源發電。 在大肚山自然生態維護上，都發局已初步將大肚山規劃為「大肚山綠色軸帶」，更將邀請中研院院士李德財進行大肚山資源調查，預計明年底即可完成初期調查，屆時將可作為後續規劃為「自然公園」或「生態保存區」等綠地系統的參考。