金屬中心掌握高效低溫電漿關鍵模組技術
台灣新聞網記者張美惠/高雄報導
2015.04.23
台灣可撓式薄膜產品所使用之材料與捲式鍍膜設備長期由美、德、日廠商掌控,售價動輒上億元新台幣,且國外廠商對於機台客製化之設計與即時後勤維修的支援較不足,對台灣廠商產品研發的速度造成限制。金屬中心整合相關模組技術,成功完成國內首套自主設計之捲式鍍膜量產系統各關鍵模組,一步步達成可撓式產品核心技術自主。
金屬中心表示,成功完成之高效率低溫電漿關鍵模組技術,主要在開發具有低阻抗值、高透光率及耐曲折性之TCO薄膜,以滿足國內觸控面板產業需求。
另金屬中心開發柱狀靶源、前處理模組及輔助濺鍍離子源等關鍵組件,透過提升材料使用率顯著降低生產成本,並藉由微晶系結構大幅改善透明導電膜透光率,降低阻抗值及提供可撓能力。
在金屬中心團隊努力下,發展出離子輔助鍍膜與結晶製程技術,其技術原理為利用離子源能量提高氣體解離率與強化鍍膜結晶性,使其產生微晶系的透明導電膜,進而改善軟性基板之透明導電膜的電性;線型離子源主要應用於開發軟性材料的輔助鍍膜設備。
金屬中心表示,軟性電子技術讓終端產品具備柔軟及可彎曲等特性,實現了輕薄短小之需求趨勢,目前廣泛應用於各種商品,例如超薄手機、觸控螢幕的透明導電膜、可撓式顯示器等,帶給人類生活變革性的創新應用發展,金屬中心掌握軟性電子設備的關鍵技術,提供完整的解決方案,協助台灣業者發展國產化且高價值之鍍膜量產設備。
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